LUXBEAM® LLS05

5 µmのアドバンスドパッケージング

AP再配線層とインターポーザー、IC基板、ガラスビルドアップ、mSAPファインライン向けの405 / 375 nmレーザーフォトヘッドです。310 × 310から600 × 600 mmまでのパネルに対応します。

LLS05 — 3つの数値で見る

5 µmライン/スペース
標準のアライメントカメラで90%超のCD均一性を実現します。
405 / 375 nmレーザー
1台のヘッドで2つの波長を使用できます。短波長は最も微細なパターンとi線レジストに対応します。
最大600 × 600 mmのパネル
310 × 310、510 × 515、600 × 600 mmに対応し、ファインラインプロセスをフォーマットの拡大に合わせてスケールできます。

記載の数値は検討用であり、用途ごとに確認が必要です。スループットはレジストとエネルギー密度により異なります。両方の情報をお送りいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアがお客様のプロセスで検証します。

マスクはもう過去のもの
DLPベースのマスクレス露光なら、物理マスクの調達・保管・交換は一切不要です。午後2時に設計を変更し、午後3時に生産を開始できます。
垂直統合
重要な要素をすべて自社内に集約。組み合わせ型のソリューションでは実現できない厳しい公差、迅速な改良、システム全体の最適化を可能にします。
実績あるパートナー
高スループットのダイレクトイメージングにおける業界標準として、世界中のPCB、アドバンスドパッケージング、半導体の生産現場で24/7稼働しています。