LUXBEAM® LLS06

6 µm、毎時720ウエハ

ファインラインPCBとアドバンスドパッケージングが交わる領域に。405 / 375 nmレーザーまたは4ピークLEDで6 µmのライン・アンド・スペースを実現し、ラインナップの微細領域で最高のスループットを発揮します。

LLS06 — 3つの数字で見る

ライン・アンド・スペース6 µm
CD均一性は90%超。アライメントカメラは固定装備ではなく、オプションとして選択できます。
レーザーまたは4ピークLED
405 / 375 nm レーザー、または 365 / 380 / 395 / 405 nm 切替式 LED。光源を実際に選択できる、シリーズ初のヘッドです。
毎時720ウエハ
515 × 510 mmでは毎時240パネル。6 µmで量産ライン級のスループットを実現します。

数値は検討用であり、用途ごとに確認が必要です。スループットはレジストとエネルギー密度に依存します。両方をお知らせいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアがお客様のプロセスに合わせて検証します。

マスクは過去のもの
DLPベースのマスクレス露光なら、物理マスクの調達・保管・交換は一切不要です。2 PMに設計を変更し、3 PMには生産を開始できます。
垂直統合
重要な要素をすべて自社に集約。より厳しい公差、迅速な改良、そしてシステム全体の最適化を、寄せ集めのソリューションでは実現できない水準で提供します。
実績あるパートナー
高スループットなダイレクトイメージングの業界標準として、世界中のPCB、アドバンスドパッケージング、半導体の生産現場で24/7稼働しています。