LUXBEAM® LLS06

6 µm，每小时720片晶圆

精细PCB与先进封装的交汇点：采用405 / 375 nm LASER或4峰LED，实现6 µm线宽/线距，并在产品系列的精细端达到最高效率。

LLS06——三个关键数字

6 µm线宽/线距
CD均匀性高于90%，对位相机可选配而非固定配置。
LASER或4峰LED
405 / 375 nm LASER，或可切换的365 / 380 / 395 / 405 nm LED——该系列首款真正提供光源选择的曝光头。
每小时720片晶圆
对于515 × 510 mm面板，每小时可达240片。面向6 µm量产线的产能。

所列数据仅供讨论，具体应用需另行确认。效率取决于光刻胶和能量密度——请将两者提供给我们，现场应用工程师将针对您的工艺进行验证。