Visitechは、2017年11月にミュンヘンで開催されるProductronicaにてLLS 04を発表いたします。ダイレクトイメージングのマシンビルダー向けサブシステムであるLUXBEAM® リソグラフィーシステムは、すでにソルダーマスクおよび内層/外層の用途で採用されており、10 umまでのライン/スペースに対応しています。
新しいLLS 04は4 umのライン/スペースを実現し、強力な405 nmの光源を搭載しています。さらに、高速かつ高精度なオートフォーカスを新たに備え、最先端のスループットを実現します。
「新しいLLS 04により、DIにおけるアドバンスド パッケージング市場もさらに幅広くカバーできるようになります」と、事業開発ディレクターのOyvind Tafjordは述べています。
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