3 µmの微細RDL

ライン/スペース3 µmで、2 µmのLLS02と5 µmのLLS05の間に位置します。最も微細な層が3 µmで、なおかつ装置投資に見合うスループットが求められる場合に、多くのアドバンスド パッケージング ラインが選ぶヘッドです。

シングルパスで、Ø300 mmのウエハで毎時約102枚、515 × 510 mmのパネルで毎時32枚です。数値は検討用の目安であり、レジストとエネルギー密度ごとに確認します。

ウエハ、および310 × 310 mmと510 × 515 mmのパネルに対応します。

はい。アライメントカメラを標準搭載し、LURIAによるリアルタイムのダイのシフト補正を行います。量産パネルは処理中にずれ、回転し、反りが生じます。LURIAはそれを無視するのではなく、それに合わせてパターンを描画します。

はい。すべてのLLSフォトヘッドは同じLURIAプラットフォームで動作するため、レシピをラインアップ全体で引き継げます。これこそが、ベンダー間ではなくラインアップの中から選ぶ理由です。