LUXBEAM® LLS02
2 µmのアドバンスド パッケージング
サブミクロンノードを除き最も微細なインターコネクトに対応する405 / 375 nmレーザーフォトヘッド。CPOおよびガラスコアRDL、ファンアウトパッケージング、MEMS、マイクロ流体デバイスに、ウエハおよび最大510 × 515 mmのパネルで対応します。
際立つ特長
LLS02 — 3つの数字で見る
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2 µmのライン/スペース
2 µmのフィーチャーを90%を超えるCD均一性で解像します。ウエハ、310 × 310および510 × 515 mmのパネルに対応します。
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デュアル波長レーザー
405および375 nm。短い波長は最も微細なフィーチャーに対応し、i線レジストにも使用できます。標準アライメントカメラが付属します。
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毎時60枚のウエハ
Ø300 mmでシングルパス、515 × 510 mmでは毎時20枚のパネル — アドバンスド パッケージングの解像度で量産レベルのスループットを実現します。
適用分野
LLS02が活躍する分野
CPOおよびインターポーザーRDL
コパッケージド・オプティクスとガラスコアインターポーザー。再配線層が密度の上限を決める領域です。
ファンアウトパッケージング
FOWLP。ウエハおよび最大510 × 515 mmのパネルフォーマットに対応します。
MEMSおよびマイクロ流体デバイス
センサーのパターニングと流路形状。フィーチャーとその側壁が等しく重要となる領域です。
プリントテスト — ウエハ上
LLS02でパターニングし、実際に撮像
シミュレーションでもマーケティング用レンダリングでもありません。LLS02でパターニングしたレジストの実際の顕微鏡画像です。タイルを開くと全体像をご覧いただけます。
LLS02 · SEM 2.0 µm
仕様
LLS02 — 概要
イメージング＆レイアウト
- 解像度
- 2 µm
- 光源
- 405 / 375 nmレーザー
- スループット — Ø300 mm ウエハ
- 60 wph
- スループット — 515 × 510 mm パネル
- 20 pph
- 主な用途
- CPO RDL、ガラスコア／インターポーザ RDL、FOWLP、MEMS、マイクロ流体デバイス
- 基板／パネル
- ウエハ、310×310、510×515
- セグメント
- アドバンスド パッケージング
統合
- 冷却方式
- 液冷
- パターンフォーマット
- GDSII · OASIS · ODB++ · Gerber
- リアルタイム機能
- 位置決め · スケーリング · 回転 · ワーピング · リルーティング · オートフォーカス
数値は検討用であり、用途ごとに確認が必要です。スループットはレジストとエネルギー密度に依存します。両方をお知らせいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアがお客様のプロセスで検証します。
Visitechが選ばれる理由
イメージングの心臓部を設計し、
お客様の次の装置へ
マスクは過去のものです
DLPベースのマスクレス露光なら、物理マスクの調達・保管・交換は一切不要です。午後2 時に設計を変更し、午後3 時には生産を開始できます。
垂直統合
すべての重要な要素を社内で一貫して手がけています。より厳しい公差、より速い開発サイクル、そして寄せ集めのソリューションでは実現できない完全なシステム最適化を実現します。
実績あるパートナー
高スループットのダイレクトイメージングにおける業界標準です。世界中のPCB、アドバンスド パッケージング、半導体の生産現場で24/7稼働しています。
自社で設計。
世界各地に導入し、サポートを提供しています。
- 年にわたるDLPの経験
- 25+
- 台の導入実績
- 15 000+
- 実証済みの信頼性
- 24/7
LLS02で描画できる最小線幅は？
ライン/スペースともに2マイクロメートルで、CD均一性は90%を超えます。さらに微細な領域には1 µmのLLS1000、それより太い領域には解像度と引き換えにスループットを高めた3 µmのLLS03をご用意しています。
対応する基板とパネルフォーマットは？
ウエハ、および310 × 310 mmと510 × 515 mmのパネルに対応します。LLSシリーズ全体で理論上の最大パネルサイズはありません。フォーマットはフォトヘッドではなく、お客様のハンドリングによって決まります。
なぜ2つの波長なのか
405 nmが主力で、375 nmは最も微細なフィーチャーとi線レジストとの互換性に対応する短波長です。どちらも同一ヘッドから出力されるため、新たなサブシステムなしでプロセスを切り替えられます。
どの程度のスループットを見込めばよいか
シングルパスで、Ø300 mmウエハなら1時間あたり約60枚、515 × 510 mmパネルなら1時間あたり20枚です。実際の数値はレジストとエネルギー密度によって異なります。両方をお知らせいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアが確認いたします。
LLS02は完成した装置ですか
いいえ。すべてのLUXBEAM®フォトヘッドは、お客様独自のダイレクトイメージング装置に組み込むOEM向けイメージングサブシステムであり、LLSシリーズ全体で共通のLURIAプラットフォーム上で動作します。
どのヘッドが最適かお迷いですか？
ライン、パネル、生産量をお知らせください
レジスト、目標とするライン / スペース、フォーマットをお送りいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアが推奨フォトヘッドと設計の基準となる構成をご提案します。通常2営業日以内にご回答いたします。
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