実績あるプラットフォームをお客様のプロセスに合わせて構成

標準構成では対応しきれない場合

基板、露光、プロセス、スケール — いずれか一つでも、要件が標準ラインアップの範囲を超えることがあります。しかし、プラットフォームの範囲を超えることはありません。制約をお知らせいただければ、それに合わせた構成を策定します。

• 非標準の基板

  通常のパネルおよびウエハのハンドリング範囲外の材料、厚さ、表面形状。

• 特殊な露光要件

  当社の定義済みセグメントの中間に位置するレジスト化学、層数、または波長の要件。

• ハイブリッドプロセス

  イメージングと別の製造工程を組み合わせるケース。既存ラインを露光に合わせるのではなく、露光を既存ラインに合わせる必要があります。

• スケールの制約

  標準システム構成では満たせない設置面積、スループット、コストの目標。