マスクレス リソグラフィー。
30 µmから1 µmまで。

マスクレスを選ぶ理由

マスクは過去のもの。
未来はダイレクトイメージングです。

従来のマスクベースのリソグラフィーでは、硬直したワークフローに縛られます。設計変更のたびに新しい物理マスクが必要となり、コスト、リードタイム、廃棄物が増加します。マスクレスのダイレクトイメージングは、このボトルネックを完全に解消します。

Visitechのダイレクトイメージングでは、パターンはマスクではなくデータです。ツーリングや段取り替えなしで、生産量を問わず多品種生産に対応します。さらにワーピングエンジンがすべての露光をリアルタイムで補正し、パターンのスケーリング、シフト、回転、変形によってパネルの歪み、ダイのシフト、プロセスによる反りを打ち消します。本来あるべき位置ではなく、フィーチャーが実際にある位置にパターンを形成します。

• マスク不要

  物理マスクの調達、保管、検査、交換は不要です。設計の反復にコストはかかりません。

• 設計変更に即対応

  デジタルアートワークなら待ち時間はゼロ。レイアウトを変更して、すぐに露光できます。

• 歩留まりの向上

  リアルタイムのワーピングが基板のばらつきを補正し、初回歩留まりを最大化します。

• 所有コストの削減

  LEDおよびレーザーダイオード光源により、最小限のメンテナンスで優れた寿命を実現します。