リソグラフィー · リソース
フォトヘッドデータシート
LUXBEAM® Lithography Systemの各フォトヘッドのデータシートをダウンロードいただけます。2機種で迷われている場合は、レジスト、パネル、ライン/スペースをお知らせください。最適な機種をご提案します。
データシート
全フォトヘッドの詳細仕様を公開
LUXBEAMフォトヘッドの詳細な技術仕様をPDFでダウンロードいただけます。結像性能、寸法、組込みデータを1つの文書にまとめ、常に最新の状態に保っています。
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