LUXBEAM®光刻系统
无掩模光刻。
从30 µm直至1 µm。
我们为您的设备打造核心成像系统——基于DLP的直接成像,从光学到固件均为自主研发。
选择您的曝光头
一个无掩模DLP平台即可覆盖30 µm PCB阻焊层至亚微米先进封装应用——LUXBEAM® LLS曝光头涵盖两大产品系列。您可按应用选择;我们将根据光刻胶、面板和目标线宽/线距确定规格。
PCB · 内层&外层
精细线路 · 先进封装 · 半导体
LLS06
6µm线宽 / 间距- 光源
- 405 / 375 nm LASER,或4-peak LED
- Ø300晶圆
- 720 wph
- 面板
- 240 pph
LLS05
5µm线宽 / 间距- 光源
- 405 / 375 nm激光
- Ø300晶圆
- 132 wph
- 面板
- 85 pph
LLS03
3µm线宽 / 间距- 光源
- 405 / 375 nm激光
- Ø300晶圆
- 102 wph
- 面板
- 32 pph
LLS02
2µm线宽 / 间距- 光源
- 405 / 375 nm 激光
- Ø300晶圆
- 60 wph
- 面板
- 20 pph
LLS1000
1µm线宽 / 间距- 光源
- 405 / 375 nm laser
- Ø300晶圆
- ~32 s · 112 wph
- 面板
- ~110 s/面 · 32 pph
晶圆打印测试
真实光刻胶,由Visitech曝光头完成图形化
非模拟,非营销渲染。呈现由Visitech曝光头完成图形化的真实光刻胶显微图像——直接取自生产现场。打开任意图块即可查看完整画面。
LLS1000 · 晶圆 1 µm L/S
LLS02 · 晶圆 2 µm L/S
LLS03 · 晶圆 3 µm L/S
LLS1000 · 细节 < 1 µm边缘
新品 · 2026上市
隆重推出LLS1000
1 µm L/S
这是我们迄今实现的最小线宽。专为亚微米量产打造的LASER曝光头,同时兼顾效率。
- Ø300晶圆
- 112 wph
- 515×510面板
- 32 pph
- 光源
- LASER

为何选择无掩模
掩模已成为过去。
直接成像才是未来。
传统掩模光刻受制于僵化的工作流程:每次设计变更都需要制作新的实体掩模,从而增加成本、交付周期和浪费。无掩模直接成像彻底消除了这一瓶颈。
采用 Visitech’s 直接成像技术,图形以数据而非掩模呈现。无需工装或换线,即可灵活应对任何批量的多品种生产;翘曲校正引擎可实时校正每次曝光,通过缩放、平移、旋转和变形图形,补偿面板变形、芯片错位和工艺翘曲。图形将精准匹配特征的实际位置,而非其设计位置。
零掩模
无需采购、存储、检查或更换实体掩模。每次设计迭代均无需额外成本。
即时变更设计
数字化设计图档无需周转时间。更改版图后即可立即曝光。
更高良率
实时翘曲校正可补偿基板差异,最大限度提高一次通过良率。
更低使用成本
LED和激光二极管光源使用寿命更长,且维护需求极低。
一切均为自主制造
Visitech 在同一工厂内完成每个关键部件的设计、工程开发、制造和测试,涵盖光学、电子、光源、软件、固件和硬件。这意味着更严格的公差控制、更快的迭代速度和完整的系统级优化。
核心
技术
久经现场验证 – 遍布全球
很少有直接成像平台能够覆盖电子制造的两端。我们的平台可以做到——从成本导向、高效率的 PCB 制造,到高价值封装和 IC 基板生产,并且已在全球生产现场实现 24/7 连续运行。
PCB · 内层&外层
用于阻焊层及内层/外层图形化的高效率直接成像——支持 LED 和 LASER,精细线宽低至 15 µm。
精细线路/封装/IC
扇出型封装和高密度 RDL 的线宽/线距低至 1 µm。专为晶圆和面板打造的 LASER 曝光头,配备翘曲校正引擎,可在变形面板上保持套刻精度。
半导体

自主研发。
全球部署与支持。
- DLP 技术经验年限
- 25+
- 最小线宽/线距
- 1 µm
- 经过现场验证的可靠性
- 24/7
什么是无掩模光刻/直接成像?
无掩模光刻无需物理掩模,直接在基板上曝光图形。图像以数字方式生成,并通过基于 DLP 的光学系统进行投影,从而支持快速更改设计、灵活调整工作流程,并消除与掩模相关的成本和交付周期。
基于 DLP 的成像与激光直接成像相比有何不同?
基于 DLP 的系统可并行曝光整个图形,而激光系统通常逐点扫描。根据具体应用和分辨率要求,这可在效率和可扩展性方面带来优势。
你们是否提供完整系统?
不提供——Visitech 提供光刻子系统(LUXBEAM® 曝光头及 LURIA 控制软件)。完整系统由合作伙伴交付,他们围绕曝光系统集成运动、上下料及工艺设备。
支持哪些应用?
PCB 和先进封装、半导体相关工艺、微加工和 MEMS,以及增材制造(基于光敏聚合物的工艺)。每套系统均根据所需的分辨率、基板、光刻胶和效率进行配置。
让您的下一代设备搭载 Visitech
请告诉我们光刻胶、面板、线宽/线距和产量要求,我们将提供配置方案和时间表。
- 挪威总部 · 德拉门
- 中国上海
- United States德克萨斯州艾伦
- 日本东京