LUXBEAM® BEAM30

厚銅とパワーモジュールを30 µmで

ラインアップのハイパワーモデルです。厚銅PCB、SiCおよびGaNパワーモジュール、大電流基板、ソルダーマスク向けの1–7チャンネル4ピークLEDフォトヘッドで、最大級のパネルに対応します。

Visitech LUXBEAM®フォトヘッド

ここが違う

BEAM30 — 3つの数字で見る

  • ハイパワーで30 µm

    高出力LED光源により、最大級のパネルフォーマットで90%を超えるCD均一性を実現します。

  • 1–7チャンネル4ピークLED

    365 / 380 / 395 / 405 nmを切り替え可能です。チャンネル数に応じて露光量を拡張し、厚膜レジストや厚銅に対応します。

  • 片面約9.5 s

    515 × 510 mmパネルの場合です。パネルサイズ自体に理論上の上限はありません。

適用分野

BEAM30が活きる領域

  • 厚銅PCB

    厚銅と、それに伴う厚膜レジスト。露光量がすべてを左右する領域です。

  • SiC・GaNパワーモジュール

    実電流を流す基板上でのワイドバンドギャップ・パワーパッケージングです。

  • 大電流基板

    ライン幅ではなく導体断面積が設計を決める領域です。

  • ソルダーマスク

    最大級の量産パネルで、ソルダーマスクのダイレクトイメージングを量産規模で実現します。

仕様

BEAM30 — 仕様一覧

イメージング&レイアウト

解像度
30 µm(高出力)
光源
1–7 チャンネル 4 ピーク LED
スループット — 515 × 510 mm パネル
~9.5 s/片面
主な用途
厚銅 PCB、SiC / GaN パワーモジュール、大電流基板、ソルダーマスク
基板/パネル
最大級のパネル、高出力
セグメント
高出力

統合

冷却方式
液冷
パターンフォーマット
GDSII · OASIS · ODB++ · Gerber
リアルタイム機能
位置決め · スケーリング · 回転 · ワーピング · リルーティング · オートフォーカス

記載の数値は検討用であり、用途ごとに確認が必要です。スループットはレジストとエネルギー密度に依存します。両方をお知らせいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアがお客様のプロセスで検証します。

Visitechが選ばれる理由

私たちはイメージングの心臓部を設計します
お客様の次の装置のために

ドランメンで働くVisitechのエンジニア
光学、エレクトロニクス、光源、ソフトウェア、ファームウェアをすべて自社で開発しています。
  • マスクは過去のもの

    DLPベースのマスクレス露光なら、調達・保管・交換すべき物理マスクはゼロです。午後2時に設計を変更し、午後3時には生産を開始できます。

  • 垂直統合

    すべての重要要素を一つの屋根の下に集約。より厳しい公差、より速い開発サイクル、そして寄せ集めのソリューションでは実現できない完全なシステム最適化を可能にします。

  • 実績あるパートナー

    高スループットなダイレクトイメージングの業界標準として、世界中の PCB、アドバンスド パッケージング、半導体の生産現場で 24/7 稼働しています。

積み重ねた LLS フォトヘッドの製品ラインアップ

自社で設計。
世界各地に導入し、サポートを提供しています。

DLP 分野での経験年数
25+
導入システム数
15 000+
現場で実証された信頼性
24/7
  • BEAM30 の用途は?

    30 µm ライン/スペースでの厚銅 PCB、SiC および GaN パワーモジュール、大電流基板、ソルダーマスクです。描画できる最小ラインよりも、ヘッドが供給できるドーズ量が重要となる用途に適しています。

  • LLS30 との違いは?

    ライン幅は同じでも、光源が異なります。BEAM30は高出力向けに設計された1–7チャンネルの4ピークLEDを搭載しています。一方、LLS30は標準的なPCBおよびソルダーマスク向けに、405 nmレーザーまたはシングル4ピークLEDを選択できます。

  • 厚銅で高出力が重要な理由は?

    厚銅には厚いレジストが必要で、厚いレジストには十分なドーズ量が必要です。LED チャンネルが多いほどパネル上の光出力が高まり、露光時間を生産タクトに合わせることができます。

  • 想定すべきスループットは?

    515 × 510 mm パネルで片面約 9.5 秒です。実際の数値はレジストとエネルギー密度によって異なります。

  • BEAM30 は完成した装置ですか?

    いいえ。お客様のダイレクトイメージング装置に組み込む OEM 向けイメージングサブシステムで、LLS シリーズの他製品と同じ LURIA プラットフォーム上で動作します。

どのヘッドが最適かお悩みですか?

ライン幅、パネル、生産量をお知らせください

レジスト、目標ライン/スペース、フォーマットをお送りいただければ、フィールドアプリケーションエンジニアが推奨フォトヘッドと設計の基準となる構成をご提案します。通常 2 営業日以内にご回答します。

  • ノルウェー本社 · ドランメン
  • 中国上海
  • アメリカ合衆国アレン(テキサス州)
  • 日本東京