6 µm、毎時720ウエハ

お使いのレジストと目標とするラインによって決まります。4ピークLEDは365、380、395、405 nmを切り替えられ、広帯域のレジストに適しています。レーザーは最も微細なフィーチャーとi線化学に対応します。LLS06は、このラインアップで両方を選べるヘッドです。

6 µmのライン/スペースで、ラインアップの微細側の中では最高のスループットです。515 × 510 mmのパネルでは1時間あたり240枚です。数値は検討用の目安であり、レジストとエネルギー密度ごとに確認します。

LLS06ではオプションで、より微細なヘッドでは標準搭載されています。必要かどうかは、ヘッドではなく、お客様のレジストレーション許容誤差によって決まります。

310 × 310、510 × 515、600 × 600 mmに対応し、LLSシリーズ全体で理論上の最大パネルサイズはありません。

はい。すべてのLLSフォトヘッドは同じLURIAプラットフォームで動作するため、一つのヘッドで実証したレシピをそのまま次のヘッドに引き継げます。