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Visitech 技术术语表

DLP 成像、直接成像光刻与增材制造领域的术语，有一半是缩写。本术语表由设计这些硬件的工程师撰写，用通俗的语言说明每一个术语的确切含义。

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每一个术语，都在这里

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22 条术语

C

冷却方式 Cooling system
散热方式，分风冷与水冷。水冷能让光学系统温度更稳定——光路升温会产生漂移，而漂移会使图形位置发生偏移，因此这一点很关键。
6 个产品 · 1 篇文章 · 3 份文档 — 冷却方式 的链接对象

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使用成本 Cost of ownership
指设备在整个生命周期内的运行成本，而非购置价格：耗材、备件、可用率、能耗以及所需的操作人力。无需更换灯泡的 LED 光源正是基于这一维度被推荐的。
1 个页面 · 2 篇文章 — 使用成本 的链接对象

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D

数据格式 Data format
光机可直接接受的设计图档格式——Gerber、ODB++、GDSII、OASIS 及各类位图格式——它决定了 CAD 与设备之间需要多少格式转换环节。
1 个产品 · 1 份文档 — 数据格式 的链接对象

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数据吞吐量 Data throughput
把图像数据送入光机的速率。它是滚动曝光的实际瓶颈：图形必须以不慢于平台移动的速度送达，10 G 链路与数据流传输正是为此而生。

E

以太网 Ethernet
用于控制光机并向其传输数据的网络标准。采用工业以太网意味着集成商无需专用接口卡即可与光机通信。
1 个页面 · 2 篇文章 — 以太网 的链接对象

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F

固件 Firmware
运行在光机内部而非设备控制器上的软件。
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同步 Frame sync
把每一帧投影图案与运动系统位置绑定的同步信号，确保滚动曝光时正确的帧落在正确的位置上。
5 个产品 · 4 份文档 — 同步 的链接对象

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L

LED驱动 LED driver
为 LED 光源供电并对其进行调节的电子模块。维持恒定光通量而非恒定电流，才能在 LED 升温过程中保持曝光剂量可重复。
5 个产品 · 1 篇文章 · 3 份文档 — LED驱动 的链接对象

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LED安全开关 LED safety switch
当集成机壳被打开时切断光源的联锁装置。这一功率级别的紫外光源存在安全隐患，集成商需要围绕它做安全设计，而该接口正是为此提供的。
水冷 Liquid cooling
以循环液体而非流动空气进行冷却。光学系统温度更稳定、没有风扇振动，且热量被带出设备而不是排入车间。
3 篇文章 — 水冷 的链接对象

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M

设备制造商 Machine builder
设计并销售整机生产设备、并将曝光头等子系统集成其中的企业，也就是 Visitech 的直接客户。
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运动平台 Motion stage
在光机下方对基板进行定位的可移动平台。
1 个产品 · 1 个页面 · 6 篇文章 · 1 份文档 — 运动平台 的链接对象

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运动系统 Motion system
驱动基板、光机或两者移动的运动平台与驱动装置。在滚动扫描系统中，其精度与曝光并非两个独立问题，而是同一个问题。
2 个产品 · 2 个页面 · 6 篇文章 · 1 份文档 — 运动系统 的链接对象

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多光机 Multihead
并排使用多台曝光头或光机的配置，在不降低分辨率的前提下覆盖单台无法覆盖的更大面积。
1 个产品 · 2 篇文章 · 1 份文档 — 多光机 的链接对象

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O

工作模式 Operation mode
指光机的曝光方式：在移动的基板上方滚动扫描，或在静止基板上方静态曝光。这一选择决定了产出效率、精度，以及周边运动系统的构建方式。
6 个产品 · 1 份文档 — 工作模式 的链接对象

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P

电源功耗 Power consumption
设备从电源汲取的功率。它既是电气参数，也是机柜与散热设计的依据。
6 个产品 · 3 份文档 — 电源功耗 的链接对象

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PSU
电源单元的缩写，指为光机独立供电的电源箱。其功率规格是集成商规划机柜空间与散热时必须考虑的条件之一。
5 个产品 · 1 篇文章 · 3 份文档 — PSU 的链接对象

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S

滚动投影 Scrolling
在基板于光机下方连续移动的同时进行曝光，图形与运动同步流式送入 DMD。它无需步进机那样的走停循环即可覆盖大面积。
2 个产品 · 2 个页面 · 2 篇文章 · 1 份文档 — 滚动投影 的链接对象

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拼接 Stacking
把多台光机布置在同一区域上方，使各自的视场叠加合成——以获得更高功率、更大覆盖范围，或两者兼得。
1 个页面 · 4 篇文章 — 拼接 的链接对象

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静态投影 Static / stacked
在基板保持静止的状态下逐个视场曝光；当需要更大面积或更高功率时，可将多台光机堆叠覆盖同一区域。速度慢于滚动扫描，但能达到最高精度。
子系统 Subsystem
指本身功能完整、但设计用于装入更大设备而非独立使用的单元。Visitech 的所有产品都是子系统，整机由客户构建。
4 个页面 · 1 篇文章 — 子系统 的链接对象

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T

效率 Throughput
设备在给定时间内的产出量——每小时的面板数、每班次的零件数。这通常正是集成商真正在采购的指标。
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